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紫外波前分析儀SID4-UV
產品簡介:

紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對半導體應用市場需求推出的一款高性價比的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為7.8X7.8mm2,提供300X300的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求,也能夠滿足半導體的光學器件的品質管控測量和半導體晶圓面型的測量。

產品型號:

更新時間:2025-09-02

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :179

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產品介紹

紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對半導體應用市場需求推出的一款高性價比的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為7.8X7.8mm2,提供300X300的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求,也能夠滿足半導體的光學器件的品質管控測量和半導體晶圓面型的測量。

應用領域:193nm激光光束測量

半導體設備用鏡頭測量

半導體表面缺陷測量

紫外波前分析儀SID4-UV指標規格

波長范圍

190nm~400nm

靶面尺寸

7.8X7.8mm2

相位空間分辨率

26um

相位譜&光強譜采樣率

300X300

相位分辨率

<2nm   RMS

精度

15nm RMS

采樣頻率

15fps

實時相位輸出頻率

2fps(全分辨率)

通信接口

Giga   Ethernet

尺寸

74 x 71 x 91 mm3

重量

約600g

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